什么是沉銅

發(fā)布日期： 2022-10-18 11:29:45 閱讀量： 3635

沉銅是在本來不導(dǎo)電的基材(孔壁)以及銅面上沉積上一層化學(xué)薄銅, 是一種薄膜沉積技術(shù)，可用于濺射或熱蒸發(fā)工藝，以獲得具有出色工藝控制和精度的最高質(zhì)量的薄膜。IBAD的定義是在高真空環(huán)境中應(yīng)用物理氣相沉積涂層（PVD）的同時(shí)，同時(shí)直接轟擊具有離子束的基板。這使得離子轟擊參數(shù)能夠與其他沉積參數(shù)完全分開控制，以實(shí)現(xiàn)最大的過程控制?；炯夹g(shù)有幾個(gè)不同的名稱，略有不同，包括離子輔助沉積，離子輔助涂層，離子束增強(qiáng)沉積，離子束濺射和離子氣相沉積，但最常用并在行業(yè)中稱為IBAD。

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